三フッ化窒素（NF3）（暫定スタンダード）

◆ 過去のスタンダードSEMI C3.39-0999

担当委員会：Gases Committee ガス委員会

価格(税込)¥11,550

三フッ化窒素は，有毒，無臭，無色，不燃性のガスである。強力な酸化剤であり，燃焼をサポートする。　　

【改訂履歴】
C3.39-0999 (技術改訂)、C3.39-91 (技術改訂)、C3.39-89 (初版)　　