■論文No. |
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■ページ数 |
2ページ |
■発行日
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2015/09/01 |
■タイトル |
パルスレーザー堆積した室温成長エピタキシャル薄膜における熱処理後のナノ溝配列形成に及ぼす原子ステップ単結晶基板の影響 |
■タイトル(英語) |
Effect of Atomically-stepped Single Crystal Substrates on Surface Formation of Nanogroove Arrays after Annealing of Epitaxial Thin Films Grown at Room-temperature by Pulsed Laser Deposition |
■著者名 |
松田 晃史(東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻),笠原 正靖(東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻),吉本 護(東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻) |
■著者名(英語) |
Akifumi Matsuda (Department of Innovative and Engineered Materials, Tokyo Institute of Technology), Masayasu Kasahara (Department of Innovative and Engineered Materials, Tokyo Institute of Technology), Mamoru Yoshimoto (Department of Innovative and Engineered Materials, Tokyo Institute of Technology) |
■価格 |
会員 ¥330 一般 ¥550 |
■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
■本誌 |
電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.135 No.9 (2015) 特集:サステナブル社会・先端応用へ向けたレーザプロセシング技術
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■本誌掲載ページ |
1096-1097ページ |
■原稿種別 |
研究開発レター/日本語 |
■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/135/9/135_1096/_article/-char/ja/
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■キーワード |
パルスレーザー堆積,室温,原子ステップ,酸化物薄膜,ナノ構造,自己組織化 pulsed laser deposition,room temperature,atomically stepped substrate,oxide thin film,nanostructure,self-assembly |
■要約(日本語) |
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■要約(英語) |
The influence of single crystal substrates on self-organized formation of surface nanogroove arrays after annealing of room-temperature grown NiO(111) epitaxial thin films was investigated. It was found that the different structural symmetry of NiO crystal domains on adjacent atomic terraces on the atomically stepped sapphire substrates significantly affected the formation of nanogrooves. |
■版 型 |
A4 |