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■論文No. OQD24006
■ページ数 5ページ
■発行日
2024/03/25
■タイトル

均一なナノ周期構造の形成に向けたフェムト秒レーザーのトップハットビームへの整形と2光束干渉

■タイトル(英語)

Two-flat-top-beam interference for formation of homogeneous periodic nanostructures with femtosecond laser pulses

■著者名 住本 武優(東京農工大学),宮地 悟代(東京農工大学)
■著者名(英語) Takemasa Sumimoto(Tokyo University of Agriculture and Technology),Godai Miyaji(Tokyo University of Agriculture and Technology)
■価格 会員 ¥440 一般 ¥660
■書籍種類 研究会(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会
■本誌 2024年3月28日光・量子デバイス研究会
■本誌掲載ページ 21-25ページ
■原稿種別 日本語
■電子版へのリンク
■キーワード フラットトップビーム|屈折型ビーム整形器|回折光学素子|バイプリズム|フェムト秒レーザー|Flat-top beam|Refractive beam shaper|DOE|Biprism|femtosecond laser
■要約(日本語) 屈折型のビーム整形素子を用いてガウスビームをトップハットビームに変換し、矩形のハードアパーチャーを通すことによってビームの断面形状を矩形にした、一連のレンズを使って1/120に縮小像転送した。さらに、レンズ間に回折光学素子とバイプリズムを設置することにより、矩形で均一な強度分布を持った2ビームの高強度fsレーザーパルスを、DLC薄膜表面に集光照射し、周期5.7 μmの均一な干渉パターンを形成した。
■要約(英語) We converted Gaussian beam to a square flat-top beam with a refractive beam shaper and a square mask to transfer an image onto the target by a transverse magnification factor of 1/120. Inserting a DOE and a biprism, two square-shape flat-top-beams interfere to form homogeneous grooves on DLC.
■版 型 A4
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