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こちらはBookPark「電気学会 電子図書館(IEEJ Electronic Library)」による文献紹介ページです。 |
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■論文No. |
6P2-D-2 |
■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/10/31 |
■タイトル |
コルゲート構造を用いたLIG圧力センサ |
■タイトル(英語) |
LIG pressure sensor using corrugated structure |
■著者名 |
小田 怜(慶應義塾大学), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学) |
■著者名(英語) |
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■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
■書籍種類 |
部門大会 |
■グループ名 |
【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
■本誌掲載ページ |
ページ |
■キーワード |
レーザ誘起グラフェン|圧力センサ|コルゲート構造|レーザ加工|ひずみゲージ|laser-induced graphene|pressure sensor|corrugated structure|laser processing|strain gauge |
■要約(日本語) |
レーザー誘起グラフェン(LIG)ひずみゲージを用いたコルゲート構造を持つ圧力センサについて報告する。コルゲート構造は、UVレーザを用いてポリイミド(PI)フィルム上に形成される。LIGはひずみゲージとして使用でき、CO2レーザで形成する。2種類のレーザを用いることで、簡易的なプロセスで高感度な圧力センサを実現することができる。本研究では、コルゲートセンサとメンブレンセンサの比較評価を行った。 |
■要約(英語) |
This paper reports on a pressure sensor with a corrugated structure based on laser-induced graphene (LIG) strain gauges. Two types of lasers can be used to easily realize a pressure sensor with high sensitivity. In this experiment, we compare the corrugated sensor with a membrane sensor. |
■版 型 |
A4 |
■PDFファイルサイズ |
1,309Kバイト |
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