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| ■論文No. |
6P2-M-1 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/10/31 |
| ■タイトル |
圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討 |
| ■タイトル(英語) |
Electrostatic position sensor for piezoelectric MEMS scanner |
| ■著者名 |
小田 優太朗(スタンレー電気), 浅利 友隆(スタンレー電気), 谷 雅直(スタンレー電気), 年吉 洋(東京大学) |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
MEMS|光スキャナ|圧電アクチュエータ|振角センサ|静電|MEMS|optical scanner|piezoelectric actuator|position sensor|electrostatic |
| ■要約(日本語) |
本研究では、MEMS光スキャナの非共振駆動フィードバック制御を実現するため、静電容量検出型の振角センサをチップ内に一体化した圧電MEMS光スキャナを作製し、ミラー振角およびその軌跡の検出可能性を検証した。設計通り機械角約3degまでは出力電圧変化量が線形に増加し、直線部分の傾きからセンサ感度は440mV/degと算出した。また、リンギング等の異常の検出に成功し、圧電光スキャナのフィードバック制御用振角センサ実現の可能性を示した。 |
| ■要約(英語) |
This paper reports a piezoelectric MEMS scanner with electrostatic position sensors for feedback control of quasi-static piezoelectric actuation. Fabricated device shows a linear sensor output up to a tilt angle of 3 degrees as designed. The sensitivity is calculated to be 440 mV/deg from the slope of the linear section. The fabricated device successfully detects a ringing of the mirror, suggesting its potential as a position sensor for feedback control. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,090Kバイト |
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