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| ■論文No. |
1137 |
| ■ページ数 |
127ページ |
■発行日
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2008/10/30 |
| ■タイトル |
ナノスケールサーボのための新しい制御技術 |
| ■タイトル(英語) |
New Control Technology for Nano-scale Servo |
| ■著者名 |
ナノスケールサーボのための新しい制御技術協同研究委員会編 |
| ■著者名(英語) |
Technical Committee on New Control Technology for Nano-scale Servo |
| ■価格 |
会員 ¥3,520 一般 ¥4,400 |
| ■書籍種類 |
技術報告 |
| ■グループ名 |
【D】産業応用部門 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
ナノスケールサーボ，マスストレージシステム，露光装置，高速高精度位置決め制御，原子間力顕微鏡／Nano-scale servo system, Mass storage system, Step and scan stage, High speed high precision position control, AFM |
| ■要約(日本語) |
次世代の産業の最重要技術，ナノテクノロジーの中でのナノスケールサーボ制御技術に対する広い調査を行なった技術報告である。 様々なアプリケーションへの応用とそのための新しい制御技術の報告を以下の３つの構成で纏めた。
（１）マスストレージシステムのナノスケールサーボ技術調査
前身のマスストレージ委員会で作成したベンチマーク問題を中心に，各種制御理論の比較検討。またマルチレート制御を代表とする高速高精度制御技術や，コンシューマエレクトロニクスが求める制御技術を調査報告。
（２）上記以外の各種ナノスケールサーボ装 |
| ■要約(英語) |
Nano-scale servo control is a significant technology in nano-technology, and this technical report addresses issues in nano-scale servo system. The report consists of the following three sections considering control design and its wide application.
(1) I |
| ■版 型 |
A4 |
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