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| ■論文No. |
3-128 |
| ■ページ数 |
1ページ |
■発行日
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2007/03/15 |
| ■タイトル |
ナノ領域温度計測用マイクロシステム -コンセプトと作製プロセス- |
| ■タイトル(英語) |
Concept and fabrication process of microsystem for nano area temperature measurement |
| ■著者名 |
田中 克洋(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学) |
| ■著者名(英語) |
Katsuhiro Tanaka(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
全国大会 |
| ■グループ名 |
【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
焦電素子|PZT|SThM|走査型熱顕微鏡 |
| ■要約(日本語) |
走査型熱顕微鏡（Scanning thermal microscopy (SThM)）は，熱電対等を集積化させた原子間力顕微鏡プローブを用いる，ナノ領域の温度・熱エネルギ計測技術である．本研究では，従来のSThM の持つプローブ?試料間の熱伝導等の問題を解決する為，微小開口と焦電素子を集積化したプローブによる新しいSThM 計測を提案する．実際に，焦電体にチタン酸ジルコン酸鉛（Pb(ZrxTi(1-x))O3:PZT）を用いた焦電素子プローブをマイクロマシニング技術によって作製し，その焦電特性を評価した．赤外線LEDによる熱刺激を与えたところ，電流0.5pA を確認した． |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
632Kバイト |
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