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| ■論文No. |
1-200 |
| ■ページ数 |
1ページ |
■発行日
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2011/03/05 |
| ■タイトル |
Diagnostics of Microplasma by Emission Spectroscopy for Surface Treatment of Glass |
| ■タイトル(英語) |
Diagnostics of Microplasma by Emission Spectroscopy for Surface Treatment of Glass |
| ■著者名 |
ブラジャンマリウス (静岡大学),梅田 暁良(静岡大学),清水 一男(静岡大学) |
| ■著者名(英語) |
Marius Blajan(Innovation and Joint Research Center Shizuoka University),Akira Umeda(Innovation and Joint Research Center Shizuoka University),Kazuo Shimizu(Innovation and Joint Research Center Shizuoka University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
全国大会 |
| ■グループ名 |
【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
マイクロプラズマ|発光分析|表面処理|パルス駆動 |
| ■要約(日本語) |
The aim of this paper is to analyze the emission spectrum of the microplasma for the surface treatment of glass. Glass’ surface was treated by the remote plasma method. Nitrogen, Ar and N2/Ar, O2/Ar mixtures were used as discharge gases. An experimental Marx generator with MOSFET switches and an AC neon transformer were used as a high voltage power supplies. Emission spectrum shown N2 SPS band, N2+ FNS band, N2 FPS band, Ar I peaks, OH peaks and O I peaks. Chemical bonding on the surface of glass was analyzed by X-ray photoelectron spectrometer. |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,074Kバイト |
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