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1.リソグラフィ将来技術の動向
Research on Next Generation Lithography Technologies
論文No: 1418 ページ数: 57 日付: 2018/04/05
著者: リソグラフィ将来技術調査専門委員会
キーワード : ArF液浸、EUV、マスク、ナノインプリント、DSA/Investigating R&D Committee on Next Generation Lithography Technologies
LSI (Large Scale Integration) デバイスの微細化は情報化社会の飛躍的発展の基礎を支えて来た。その微細化の原動力はリソグラフィ技術の進歩である。ITRS (International Techn ... more
サイズ:A4 掲載ページ:
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2.モーションコントロールの先進応用の最新技術
Recent progress in Motion Control for Advanced Applications
論文No: 1423 ページ数: 48 日付: 2018/04/05
著者: モーションコントロールの先進応用に関する協同研究委員会
キーワード : モーションコントロール,制御,ロボット/Motion Control, Control, Robot
モーションコントロール技術に基づく多自由度系の制御手法の研究開発により,工作機械やロボットをはじめとする産業用機械の高性能化が達成されてきた。現在でも,さらなる高精度化や多様なロボットの動作制御など,より高度なモーション ... more
サイズ:A4 掲載ページ:
会員価格(税込)¥3,187 一般価格(税込)¥4,554 立ち読み立ち読み
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