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| ■論文No. |
970 |
| ■ページ数 |
66ページ |
■発行日
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2004/07/15 |
| ■タイトル |
SR・FELが拓くナノとバイオの新領域 |
| ■タイトル(英語) |
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| ■著者名 |
量子放射光プロセス技術調査専門委員会 |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥3,564 一般 ¥4,455 |
| ■書籍種類 |
技術報告 |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
放射光（SR）や自由電子レーザ（FEL）を利用した量子放射光プロセスによって，どのような新規の産業技術への道が開けるか，あるいは既存のプロセス技術の問題点を克服できるかといった視点を持ち，平成14年6月に「量子放射光プロセス技術調査専門委員会」を発足させ，調査研究を実施した。本報告はその調査研究を専門委員会技術報告書としてまとめたものである。
調査研究にあたりまず，本分野における国内外の趨勢につき検討を加えた。結果，量子放射光と物質との相互作用に基づく，プロセス技術（物性制御，薄膜形成，微細加工）を応 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
11Mバイト |
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