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| ・会員価格 ¥550 |
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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
7ページ |
■発行日
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2019/03/01 |
| ■タイトル |
ポリマー基板上金属酸化物薄膜：コーティング法と機能設計 |
| ■タイトル(英語) |
Coating Method of Tailoring Advanced Functions of Metal-oxide Films Deposited on Polymer Substrates |
| ■著者名 |
山本 哲也（高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター），古林 寛（高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター） |
| ■著者名(英語) |
Tetsuya Yamamoto (Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology), Yutaka Furubayashi (Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.139 No.3 （2019） 特集：フレキシブルセラミックスコーティング
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| ■本誌掲載ページ |
185-191ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_185/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
金属酸化物，ポリマー基板 metal oxides，polymer substrates |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
Key factors to achieve functional metal oxide films deposited on flexible polymer-film substrates are discussed. The use of reactive plasma deposition with dc-arc discharge is an effective coating method to grow the metal oxide films with reduced residual stress, leading to the tailored functional films for wide applications. |
| ■版 型 |
A4 |
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