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■論文No.
■ページ数 5ページ
■発行日
2019/03/01
■タイトル

シリコーンゴム表面に作製した周期的微細隆起構造へのAl薄膜形成による超撥水性の発現

■タイトル(英語)

Formation of Textured Al Thin Film on Periodic Micro-Swelling Structure Fabricated on Silicone Rubber Surface to Realize Superhydrophobicity

■著者名 大越 昌幸(防衛大学校 電気情報学群電気電子工学科)
■著者名(英語) Masayuki Okoshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy)
■価格 会員 ¥550 一般 ¥770
■書籍種類 論文誌(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門
■本誌 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.139 No.3 (2019) 特集:フレキシブルセラミックスコーティング
■本誌掲載ページ 192-196ページ
■原稿種別 論文/日本語
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_192/_article/-char/ja/
■キーワード ArFエキシマレーザ,シリコーンゴム,微細隆起構造,Al薄膜,超撥水性  ArF excimer laser,silicone rubber,micro-swelling structure,Al thin film,superhydrophobicity
■要約(日本語)
■要約(英語) Periodic micro-swelling structure was fabricated on silicone rubber by the 193-nm ArF excimer laser induced photodissociation of silicone; subsequent deposition of Al thin film on the sample surface significantly improved the superhydrophobicity. To discuss the improvement, Al thin film was deposited on a flat slide glass, silicone rubber and silicone resin substrates. Under a scanning electron microscope, textured structure of Al thin film was found only on the silicone rubber. As a result, contact angle of water on the sample with the textured Al indicated to be approximately 165 degrees, compared with the case of 155 degrees before Al deposition.
■版 型 A4
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