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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
30ページ |
■発行日
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2018/11/01 |
| ■タイトル |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.11 （2018） |
| ■タイトル(英語) |
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.138 No.11 (2018) |
| ■著者名 |
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| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥1,320 一般 ¥1,650 |
| ■書籍種類 |
論文誌(号単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/138/11/_contents/-char/ja/
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| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
・導電性酸化膜と金属膜を下部電極に併用したPZT薄膜の結晶成長：水嵜 英明，佐藤 敏郎，曽根原 誠
・表面粗さ構造における微小管運動の特性評価：中原 佐，宮﨑 勇，小寺 秀俊，横川 隆司，南 和幸
・銀ナノワイヤと銀薄膜との微小空間における光学特性：山口 堅三，中本 樹，藤井 正光
・1つの圧電ムーニー型アクチュエータを用いた2軸共振マイクロステージ：藤村 康浩，塚本 貴城，田中 秀治 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
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