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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
26ページ |
■発行日
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2019/04/01 |
| ■タイトル |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.4 （2019） |
| ■タイトル(英語) |
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.139 No.4 (2019) |
| ■著者名 |
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| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥1,320 一般 ¥1,650 |
| ■書籍種類 |
論文誌(号単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/139/4/_contents/-char/ja/
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| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
・SiO2/Si3N4積層ダイアフラムを用いた金属ひずみゲージ圧力センサ：中野 洋，松本 昌大，小野瀬 保夫，太田 和宏
・非晶質インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた静電気センサの開発：岩松 新之輔，阿部 泰，加藤 睦人，竹知 和重，田邉 浩
・結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発：足立 悠輔，小林 大造
・1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価：庄司 拓人，江端 亮，寒川 雅之，安部 隆
・圧力センサを用いた嚥下動作の検出：高松 優子，福田 博也 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
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