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■論文No.
■ページ数 26ページ
■発行日
2019/04/01
■タイトル 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.139 No.4 (2019)
■タイトル(英語) IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.139 No.4 (2019)
■著者名
■著者名(英語)
■価格 会員 ¥1,296 一般 ¥1,620
■書籍種類 論文誌(号単位)
■グループ名 【E】センサ・マイクロマシン部門
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/139/4/_contents/-char/ja/
■キーワード
■要約(日本語) ・SiO2/Si3N4積層ダイアフラムを用いた金属ひずみゲージ圧力センサ:中野 洋,松本 昌大,小野瀬 保夫,太田 和宏
・非晶質インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた静電気センサの開発:岩松 新之輔,阿部 泰,加藤 睦人,竹知 和重,田邉 浩
・結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発:足立 悠輔,小林 大造
・1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価:庄司 拓人,江端 亮,寒川 雅之,安部 隆
・圧力センサを用いた嚥下動作の検出:高松 優子,福田 博也
■要約(英語)
■版 型 A4

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