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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
38ページ |
■発行日
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2020/01/01 |
| ■タイトル |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.1 （2020） 特集：センサ・マイクロマシン英文特集号 |
| ■タイトル(英語) |
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.140 No.1 (2020) Special Issue on “World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines” |
| ■著者名 |
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| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥1,320 一般 ¥1,650 |
| ■書籍種類 |
論文誌(号単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/140/1/_contents/-char/ja/
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| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
・センサ・マイクロマシン英文特集号によせて：河野 剛士
・Electrostatic Microelectromechanical Logic Devices Made by CMOS-compatible Surface Micromachining：Makoto Mita，Manabu Ataka，Hiroshi Toshiyoshi
・Solid-Electrolyte Impedancemetric CO2 Sensor Attached with La0.4Sr0.6MnO3 Receptor：Shinya Kuramoto，Youichi Shimizu
・Design and Fabrication of On-Chip Micro-Thermoelectric Cooler Based on Electrodeposition Process：Jirath Enju，Nguyen Huu Trung，Samat Khairul Fadzli，Po-Hung Chen，Takahito Ono
・Etching Mechanism Behind the High-Speed Etching of Silicon in NH2OH-added Alkaline Solutions：Veerla Swarnalatha，Kanneri Thettiyappath Vismaya，Avvaru Venkata Narasimha Rao，Prem Pal，Ashok Kumar Pandey，Hiroshi Tanaka，Kazuo Sato
・Area-selective Cu Film Growth on TiN and SiO2 by Supercritical Fluid Deposition：Naoto Usami，Etsuko Ota，Akio Higo，Takeshi Momose，Yoshio Mita |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
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