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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
41ページ |
■発行日
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2020/07/01 |
| ■タイトル |
電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.140 No.7 （2020） 特集：第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文 |
| ■タイトル(英語) |
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.140 No.7 (2020) Special Issue on “The Awarded Papers of The 36th Sensor Symposium” |
| ■著者名 |
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| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥1,320 一般 ¥1,650 |
| ■書籍種類 |
論文誌(号単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/140/7/_contents/-char/ja/
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| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
・第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム受賞論文特集号によせて：鈴木 博章，峯田 貴
・深紫外LED向けシリコンパッケージング技術の開発：千葉 広文，鈴木 裕輝夫，安田 嘉昭，熊谷 光恭，小山 孝明，田中 秀治
・高感度・高ダイナミックレンジを実現する集積化ハイブリッドMEMS水素センサ：林 裕美，山﨑 宏明，増西 桂，小野 大騎，齋藤 友博，中村 直文，小島 章弘
・シリコンマイグレーションシール（SMS）ウェハレベル真空パッケージング技術：鈴木 裕輝夫，Dupuit Victor，小島 俊哉，金森 義明，田中 秀治
・可変3DキラルTHzメタマテリアルのための機械的変形方法の研究：小菅 拓也，菅 哲朗
・呼気中アセトン・イソプロパノールの間欠繰り返し計測のためのバイオスニファに関する研究：鈴木 翔太，辻井 誠人，當麻 浩司，荒川 貴博，三林 浩二
・生化学式ガスセンサとガス濃縮装置を用いた経皮エタノールガス計測システム：荒川 貴博，青田 崇志，當麻 浩司，三林 浩二
・ゴムストレッチ基板とコルゲーションマシーンを用いた高伸縮性微小縦波構造銅配線の作製：奥田 真司，山本 道貴，高松 誠一，伊藤 寿浩 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
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