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■論文No. EDD21041,SPC21131
■ページ数 5ページ
■発行日
2021/10/18
■タイトル

3.3kV耐圧SiC SJ−MOSFETの特性評価

■タイトル(英語)

Electrical property of 3.3 kV-class SiC SJ-MOSFET

■著者名 馬場 正和(産業技術総合研究所),俵 武志(産業技術総合研究所),森本 忠雄(産業技術総合研究所),市川 義人(富士電機),木下 明将(富士電機),武井 学(富士電機),原田 信介(産業技術総合研究所)
■著者名(英語) Masakazu Baba(AIST),Takeshi Tawara(AIST),Tadao Morimoto(AIST),Ichikawa Ichikawa(Fuji Electric),Akimasa Kinoshita(Fuji Electric),Manabu Takei(Fuji Electric),Shinsuke Harada(AIST)
■価格 会員 ¥220 一般 ¥330
■書籍種類 研究会(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス/【D】産業応用部門 半導体電力変換合同研究会
■本誌 2021年10月21日-2021年10月22日電子デバイス/半導体電力変換合同研究会-1
■本誌掲載ページ 1-5ページ
■原稿種別 日本語
■電子版へのリンク
■キーワード SiC|MOSFET|スーパージャンクション|オン抵抗|スイッチング|SiC|MOSFET|Superjunction|Specific on resistance|Switching
■要約(日本語) 3.3kV耐圧クラスのSiC SJ-MOSFETを試作し、静・動特性とボディダイオード通電における順方向劣化評価を行った。SJ-MOSFETは室温で3.3mΩcm2、175℃で6.2mΩcm2の超低オン抵抗を実現した。175℃のスイッチング損失は、Non-SJの6.66 mJ に対して、Semi-SJは5.32 mJ、Full-SJは6.53 mJとなり、それぞれ20%、2%低減した。
■要約(英語) We investigated static and dynamic characteristics in 3.3 kV-class SiC SJ-MOSFET. SJ-MOSFET has exhibited extremely low specific on resistance of 3.3 and 6.2 mΩcm2 at 25oC and 175oC respectively. A total switching loss is less than that of conventional SiC MOSFET at 175oC.
■版 型 A4
■PDFファイルサイズ 1,373Kバイト
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