| ■論文No. |
MSS22022,CHS22016,BMS22021 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
|
2022/06/04 |
| ■タイトル |
可変焦点メタレンズのためのMEMS回転ステージの製作・評価 |
| ■タイトル(英語) |
Fabrication and evaluation of MEMS rotational stage for varifocal metalens |
| ■著者名 |
野村 祐真(東京農工大学),小川 主税(東京農工大学),池沢 聡(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学) |
| ■著者名(英語) |
Yuma Nomura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Chikara Ogawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Satoshi Ikezawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentarou Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会 |
| ■本誌 |
2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会
|
| ■本誌掲載ページ |
39-42ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
|
| ■キーワード |
メタレンズ|ミアンダ構造|静電アクチュエータ|櫛歯電極|ＭＥＭＳ|metalens|meander structure|electrostatic actuators|comb electrode|MEMS |
| ■要約(日本語) |
可変焦点レンズは薄型化が必要とされている。そこで極薄型レンズであるメタレンズが注目されている。2つのレンズを相対回転させることで可変焦点距離を達成するメタレンズを製作し薄型アクチュエータと集積化することで薄型可変焦点メタレンズを実現できる。現在までに櫛歯型静電アクチュエータとミアンダ構造ばねで構成されるMEMS回転ステージの製作を行い、搭載するレンズのシミュレーションによる集光を確認した。 |
| ■要約(英語) |
Variable-focus lenses need to be thinner. Meta-lenses, which are ultra-thin lenses, are attracting attention because they can achieve variable focal lengths by rotating two lenses relative to each other and integrating them with thin actuators to realize thin variable focus meta-lenses. We have fabricated a MEMS rotation stage composed of a comb-drive actuator and a meander structure spring, and confirmed light focusing by simulating the lens. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,100Kバイト |
