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| ■論文No. |
EDD22033,SPC22173 |
| ■ページ数 |
6ページ |
■発行日
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2022/11/28 |
| ■タイトル |
パワーサイクル劣化を検出するセンサデバイスの開発 |
| ■タイトル(英語) |
Development of sensor device to detect power cycle deterioration |
| ■著者名 |
塚本 達也(九州大学),斎藤 渉(九州大学),西澤 伸一(九州大学) |
| ■著者名(英語) |
Tatsuya Tsukamoto(Kyushu University),Wataru Saito(Kyushu University),Shin-ichi Nishizawa(Kyushu University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス/【D】産業応用部門 半導体電力変換合同研究会 |
| ■本誌 |
2022年12月1日-2022年12月2日電子デバイス/半導体電力変換合同研究会-1
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| ■本誌掲載ページ |
7-12ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
信頼性|パワーサイクル劣化|高精度センサ|ＭＩＳＦＥＴ|パワーサイクル試験|機械的ストレス|Reliability|Power cycle degradation|High accuracy sensor|MISFET|Power cycle test|mechanical stress |
| ■要約(日本語) |
高精度なセンシング技術がまだ確立していないパワーサイクル劣化に対して、低コストで、且つ、高精度な劣化検出が可能な新型センサデバイスを提案する。提案するセンサはMISFET型で、繰り返しの機械ストレスにより10倍以上の電流変化が期待できるため、高電圧下でのノイズ除去が複雑な検出回路を必要としない。今回、提案するセンサの基本動作やプロセス条件とセンシング精度の相関について報告する。 |
| ■要約(英語) |
We propose a new sensor device that detects power cycle degradation with low cost and high accuracy. The proposed sensor employs the MISFET type, the current change of over 10 times can be obtained by repeatedly mechanical stress, and so complicated detect circuit, such as voltage noise filter, is not required. The paper reports primitive sensing operation and the correlation between process conditions and sensing accuracy. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,291Kバイト |
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