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| ■論文No. |
MSS23018,CHS23014,BMS23006 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/03/25 |
| ■タイトル |
Design and Fabrication of the Metasurface Optical Gas Sensor Using Deep Ultraviolet Plasmon Resonance |
| ■タイトル(英語) |
Design and Fabrication of the Metasurface Optical Gas Sensor Using Deep Ultraviolet Plasmon Resonance |
| ■著者名 |
Matsuda Ryo(Tokyo University if Agriculture and Technology),Watanabe Ryo(Tokyo University if Agriculture and Technology),Matsushita Kenichiro(MEIDENSHA CORPORATION),Ogawa Yuji(MEIDENSHA CORPORATION),Ikezawa Satoshi(Tokyo University of Agriculture and Tech |
| ■著者名(英語) |
Ryo Matsuda(Tokyo University of Agriculture and Technology),Ryo Watanabe(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kenichiro Matsushita(MEIDENSHA CORPORATION),Yuji Ogawa(MEIDENSHA CORPORATION),Satoshi Ikezawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentaro Imawi(Tokyo University of Agriculture and Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会 |
| ■本誌 |
2023年3月28日-2023年3月29日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会
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| ■本誌掲載ページ |
21-24ページ |
| ■原稿種別 |
英語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
Ｐｌａｓｍｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ|Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ Ｆｉｅｌｄ Ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ|Ｄｅｅｐ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ|Ｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ|Ｇａｓ Ｓｅｎｓｏｒ|Ｍｅｔａｓｕｒｆａｃｅ|Plasmon Resonance|Electromagnetic Field Calculation|Deep Ultraviolet Resonance|Nanofabrication|Gas Sensor|Metasurface |
| ■要約(日本語) |
Acid corrosion inside high-voltage equipment has become a problem. Therefore, initial detection of gases such as ozone and ammonia, which are precursors to acids, is necessary. Optical gas sensors are suitable for initial detection of gases because they are non-contact, are not easily affected by the ambient environment, and can measure gases over time. In combination with metasurfaces, they are also expected to detect low-concentration gases. In this study, we design and fabricate an optical gas sensor and aim to contribute to the diagnosis of predictive deterioration of equipment. |
| ■要約(英語) |
Acid corrosion inside high-voltage equipment has become a problem. Therefore, initial detection of gases such as ozone and ammonia, which are precursors to acids, is necessary. Optical gas sensors are suitable for initial detection of gases because they are non-contact, are not easily affected by the ambient environment, and can measure gases over time. In combination with metasurfaces, they are also expected to detect low-concentration gases. In this study, we design and fabricate an optical gas sensor and aim to contribute to the diagnosis of predictive deterioration of equipment. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,437Kバイト |
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