| ■論文No. |
MSS23042,CHS23026,BMS23019 |
| ■ページ数 |
5ページ |
■発行日
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2023/06/27 |
| ■タイトル |
ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ開発の道のり |
| ■タイトル(英語) |
Road to Development of Piezoresistive Semiconductor Pressure Sensor |
| ■著者名 |
杉山 進(立命館大学) |
| ■著者名(英語) |
Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会 |
| ■本誌 |
2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会
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| ■本誌掲載ページ |
1-5ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ|ひずみゲージ|マイクロマシニング|拡散リード|受圧ダイアフラム|集積化センサ|piezoresistive semiconductor pressure sensor|strain gage|micromachining|diffused lead|pressure diaphragm|integrated sensor |
| ■要約(日本語) |
ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のりを遡って検証します。現在では標準的技術として広く使われていますが、過去には60年の歴史があります。半導体・IC技術の革新とMEMS・微細加工の進展が、半導体圧力センサの技術進歩の原動力となっています。本稿では、今日の自動車をはじめ、さまざまな環境計測に欠かせない圧力センサの基礎となるピエゾ抵抗式半導体圧力センサの技術革新の軌跡を探ります。 |
| ■要約(英語) |
Road to development of the piezoresistive semiconductor pressure sensor is verified retroactively. There was a sixty years history of the past. In this paper, it is explored the path of technological innovation in semiconductor pressure sensors, which are the basis of pressure sensors that are indispensable for automobiles today. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
2,041Kバイト |
