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■論文No. EDD23040,SPC23223
■ページ数 6ページ
■発行日
2023/10/23
■タイトル

トレンチIGBTのダイナミックアバランシェ抑制設計

■タイトル(英語)

Dynamic avalanche suppression design of trench IGBT

■著者名 郭 祺(九州大学),西澤 伸一(九州大学),齋藤 渉(九州大学)
■著者名(英語) Qi Guo(Kyushu University),Shin-ichi Nishizawa(Kyushu University),Wataru Saito(Kyushu University)
■価格 会員 ¥220 一般 ¥330
■書籍種類 研究会(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス/【D】産業応用部門 半導体電力変換合同研究会
■本誌 2023年10月26日-2023年10月27日電子デバイス/半導体電力変換合同研究会-1
■本誌掲載ページ 81-86ページ
■原稿種別 日本語
■電子版へのリンク
■キーワード IGBT|ダイナミックアバランシェ|ターンオフ|IGBT|dynamic avalanche|turn-off
■要約(日本語) ダイナミックアバランシェ(DA)に対するIGBTの構造パラメータの影響を調べた結果について報告する。Carrier Stored層(CS層)を有する1200V系IGBTについてシミュレーションを用いて検討した。構造パラメータは、メサ幅、トレンチ底部p層有無である。狭いメサ幅によりCS層濃度の増加が可能になると共に、DAを抑制する。しかし、トレンチ底部p層を有する構造の方がDAの抑制効果は大きい。
■要約(英語) This paper reports the effects of structural parameters on Dynamic Avalanche (DA) in IGBT. 1200V-class IGBTs with Carrier Stored (CS) layer were designed using TCAD simulation. Narrow mesa structure increased CS doping concentration and suppressed DA. However, p-layer covered trench bottom was more effective to suppress the DA.
■版 型 A4
■PDFファイルサイズ 1,826Kバイト
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