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| ■論文No. |
EFM23012 |
| ■ページ数 |
3ページ |
■発行日
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2023/11/19 |
| ■タイトル |
溶液塗布熱分解法による酸化バナジウム薄膜の作製と高感度pHセンサー応用 |
| ■タイトル(英語) |
Fabrication of vanadium oxide thin films by a chemical solution deposition method and its applications for pH sensor with high-sensitivity |
| ■著者名 |
楯 凱貴(大阪工業大学),道端 涼(大阪工業大学),山本 青依(大阪工業大学),熊代 良太郎(東北大学),広藤 裕一(大阪工業大学),小池 一歩(大阪工業大学),廣芝 伸哉(大阪工業大学) |
| ■著者名(英語) |
Yoshiki Tate(Osaka Institute of Technology),Ryo Michibata(Osaka Institute of Technology),Aoi Yamamoto(Osaka Institute of Technology),Ryotaro Kumashiro(TOHOKU UNIVERSITY),Yuichi Hirofuji(Osaka Institute of Technology),kazuto Koike(Osaka Institute of Technology),Nobuya Hiroshiba(Osaka Institute of Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会 |
| ■本誌 |
2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会
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| ■本誌掲載ページ |
43-45ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
ｐＨセンサー|酸化バナジウム|拡張ゲートＦＥＴ|pH sensor|vanadium oxide|EGFET |
| ■要約(日本語) |
我々は，人間の汗や涙などの体液の組成を高感度で測定可能なセンサーの開発を目指している．本研究ではバイオセンサーの基礎となるpHセンサー材料として酸化バナジウムに注目した．溶液塗布熱分解法により酸化バナジウム薄膜を拡張ゲート(EG)電極に用いたnチャネルMOSFETによるEGFET型pHセンサーを試作した．また，試作したEGFET型pHセンサーのpH変化に対する応答を調査したので詳細について報告する． |
| ■要約(英語) |
Our final goal of this study is to develop a biosensor with high sensitivity utilizing human body fluids such as sweat and tears. In this study, we focused on vanadium oxide as a basic pH sensing material for biosensors. We fabricated a prototype extended gate (EG) FET-type pH sensor using an n-channel MOSFET with a thin vanadium oxide film as an EG electrode fabricated by a chemical solution deposition method. The response of the prototype EGFET-type pH sensor to pH change was investigated. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,016Kバイト |
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