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| ■論文No. |
MAG23170 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/12/19 |
| ■タイトル |
低温プロセスによるNd-Fe-B系磁石膜の作製 |
| ■タイトル(英語) |
Nd-Fe-B film magnets prepared by using low temperature process |
| ■著者名 |
福田 樹(長崎大学),東 倖主(長崎大学),田原 楽飛(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学) |
| ■著者名(英語) |
Itsuki Fukuda(Nagasaki University),Kosuke Higashi(Nagasaki University),Gakuto Tahara(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会 |
| ■本誌 |
2023年12月22日マグネティックス研究会
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| ■本誌掲載ページ |
17-20ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
ＬＩＦＴ法|Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石膜|低温プロセス|ＭＥＭＳ|保磁力|成膜雰囲気|LIFT technique|Nd-Fe-B film magnets|low temperature process|MEMS|coercivity|deposition atmosphere |
| ■要約(日本語) |
Nd-Fe-B系磁石膜のMEMS利用を鑑みると，耐熱性の低い材料(回路素子)との共存に向けて熱処理を必要としない作製法が必要とされる。本研究ではLIFT法を用い、熱処理なしでNd-Fe-B系磁石膜を作製し、その磁気特性や結晶構造について検討したので報告する。 |
| ■要約(英語) |
Given the usage of Nd-Fe-B film magnets in MEMS, preparation process without an annealing is required to coexist the films and materials (circuit devices) with low heat resistance. Here, we prepared Nd-Fe-B film magnets by a LIFT technique without an annealing and reported magnetic properties together with crystalline structure. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,329Kバイト |
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