| ■論文No. |
OQD23051 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/12/24 |
| ■タイトル |
GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用 |
| ■タイトル(英語) |
Ultra-thinning of SiNx films using GCIB etching and application to electron transmission window of liquid cell |
| ■著者名 |
竹内 雅耶(兵庫県立大学),豊田 紀章(兵庫県立大学) |
| ■著者名(英語) |
Masaya Takeuchi(University of Hyogo),Noriaki Toyoda(University of Hyogo) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会 |
| ■本誌 |
2023年12月27日光・量子デバイス研究会
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| ■本誌掲載ページ |
5-8ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
ガスクラスターイオンビーム|窒化シリコン|エッチング|Gas cluster ion beam|Silicon nitride|Etching |
| ■要約(日本語) |
本研究では、ガスクラスターイオンビーム（GCIB）を用いて、液体を真空中で封止しXPS・SEMなどで液体の直接観察を可能にするための溶液セルの電子透過窓（SiNxメンブレン）の極薄化を行う。GCIBの有する低損傷照射効果を利用し、極薄SiNx膜の耐圧性を保持したままエッチング行い、その照射効果の解明を行う。また、実際にその極薄膜を電子透過窓へ適用し、液体サンプルの高感度検出の実証を行う。 |
| ■要約(英語) |
In this study, we utilize the low-damage irradiation effect of GCIB to etch ultra-thin SiNx films while maintaining their pressure resistance, and elucidate the irradiation effect. We also apply the ultra-thin film to a electron transmission window to demonstrate high-sensitivity detection of liquid samples. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
506Kバイト |
