■論文No. |
OQD24006 |
■ページ数 |
5ページ |
■発行日
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2024/03/25 |
■タイトル |
均一なナノ周期構造の形成に向けたフェムト秒レーザーのトップハットビームへの整形と2光束干渉 |
■タイトル(英語) |
Two-flat-top-beam interference for formation of homogeneous periodic nanostructures with femtosecond laser pulses |
■著者名 |
住本 武優(東京農工大学),宮地 悟代(東京農工大学) |
■著者名(英語) |
Takemasa Sumimoto(Tokyo University of Agriculture and Technology),Godai Miyaji(Tokyo University of Agriculture and Technology) |
■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会 |
■本誌 |
2024年3月28日光・量子デバイス研究会
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■本誌掲載ページ |
21-25ページ |
■原稿種別 |
日本語 |
■電子版へのリンク |
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■キーワード |
フラットトップビーム|屈折型ビーム整形器|回折光学素子|バイプリズム|フェムト秒レーザー|Flat-top beam|Refractive beam shaper|DOE|Biprism|femtosecond laser |
■要約(日本語) |
屈折型のビーム整形素子を用いてガウスビームをトップハットビームに変換し、矩形のハードアパーチャーを通すことによってビームの断面形状を矩形にした、一連のレンズを使って1/120に縮小像転送した。さらに、レンズ間に回折光学素子とバイプリズムを設置することにより、矩形で均一な強度分布を持った2ビームの高強度fsレーザーパルスを、DLC薄膜表面に集光照射し、周期5.7 μmの均一な干渉パターンを形成した。 |
■要約(英語) |
We converted Gaussian beam to a square flat-top beam with a refractive beam shaper and a square mask to transfer an image onto the target by a transverse magnification factor of 1/120. Inserting a DOE and a biprism, two square-shape flat-top-beams interfere to form homogeneous grooves on DLC. |
■版 型 |
A4 |
■PDFファイルサイズ |
811Kバイト |