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■論文No. HEE24006
■ページ数 6ページ
■発行日
2024/06/30
■タイトル

半導体スーパージャンクション理論 発想の経緯

■タイトル(英語)

Theory of Semiconductor Superjunction Devices - How the Idea Came About

■著者名 藤平 龍彦(富士電機)
■著者名(英語) Tatsuhiko Fujihira(Fuji Electric)
■価格 会員 ¥220 一般 ¥330
■書籍種類 研究会(論文単位)
■グループ名 【A】基礎・材料・共通部門 電気技術史研究会
■本誌 2024年7月3日電気技術史研究会
■本誌掲載ページ 1-6ページ
■原稿種別 日本語
■電子版へのリンク
■キーワード スーパージャンクション|理論|半導体|オン抵抗|でんきの礎|発想|superjunction|theory|semiconductor|on-resistance|one step on electro technology|idea
■要約(日本語) スーパージャンクション(SJ)は1998年からシリコン(Si)パワーMOSFETに適用され、近年その固有オン抵抗はSi非SJパワーMOSFET理論限界の1/10にまで低減され、市場規模は2022年実績で15億米ドルを超えた。SJ特許は1982年にCoeが初公開し、SJ理論は1997年に藤平が発表した。本論文では、藤平によるSJ理論発想の経緯を報告する。それは、高耐圧ICの不良品解析から始まった。
■要約(英語) Specific on-resistance of silicon superjunction MOSFET reached to 1/10 of the non-superjunction silicon limit. Its market surpassed US$ 1.5 billion. Superjunction patent published by Coe in 1982 and superjunction theory by Fujihira in 1997, for the first time. Present paper describes how the idea of superjunction came about to Fujihira.
■版 型 A4
■PDFファイルサイズ 1,334Kバイト
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