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| こちらはBookPark「電気学会 電子図書館（IEEJ Electronic Library）」による文献紹介ページです。 |
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| ■論文No. |
EFM24024 |
| ■ページ数 |
3ページ |
■発行日
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2024/11/25 |
| ■タイトル |
放射光X線回折・吸収分光測定を用いた電子デバイス評価技術の紹介 |
| ■タイトル(英語) |
Electronic device characterization using synchrotron X-ray diffraction, and X-ray absorption spectroscopy measurements. |
| ■著者名 |
渡辺 剛(公益財団法人高輝度光科学研究センター) |
| ■著者名(英語) |
Takeshi Watanabe(Japan Synchrotron Radiation Research Institute) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥330 |
| ■書籍種類 |
研究会(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会 |
| ■本誌 |
2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会
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| ■本誌掲載ページ |
83-85ページ |
| ■原稿種別 |
日本語 |
| ■電子版へのリンク |
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| ■キーワード |
放射光Ｘ線|すれすれ入射Ｘ線回折測定|Ｘ線吸収分光測定|半導体材料|Synchrotron X-ray|Grazing incidence X-ray diffraction|X-ray absorption spectroscopy|Semiconductor materials |
| ■要約(日本語) |
本稿では、我々がこれまでに取り組んできた放射光測定・解析技術開発の取り組みについて一部を紹介する。 |
| ■要約(英語) |
We introduce some of the synchrotron measurement and analysis techniques that have been developed for electronic devices |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,408Kバイト |
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