 |
| ・会員価格 ¥220 |
| ・一般価格 ¥440 |
|
|
| こちらはBookPark「電気学会 電子図書館（IEEJ Electronic Library）」による文献紹介ページです。 |
|
 |
 |
電気学会会員の方はこちらから一旦ログインのうえ、マイページからお入りください。
会員価格で購入することができます。
|
|
| 非会員の方はログインの必要はありません。このまま お進みください。 |
|
|
| ■論文No. |
1-B-p1-2 |
| ■ページ数 |
1ページ |
■発行日
|
2021/09/01 |
| ■タイトル |
DLC 成膜用低圧 C2H2プラズマ特性に及ぼす圧力依存性の数値解析 |
| ■タイトル(英語) |
|
| ■著者名 |
佐々木 瞬（千葉工業大学）, 石井 晃一（千葉工業大学）, 小田 昭紀（千葉工業大学） |
| ■著者名(英語) |
|
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【A】令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
シミュレーション|プラズマ支援CVD|高周波プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|アセチレン |
| ■要約(日本語) |
近年, DLC(Diamond-Like Carbon)膜の成膜には, 低圧プラズマ支援CVD法が多く用いられている。 本手法は大面積かつ均一な成膜が可能であるが, 低圧力に起因する成膜速度や膜の軟質化が課題である。この課題に対し, 成膜用ガスにC2H2を用いた場合, 成膜速度および膜硬度が改善できることが報告されているが, この改善理由も含めてC2H2プラズマの特性には未解明な部分が多い。そこで本研究では, 低圧高周波C2H2プラズマの空間1次元流体モデルによるシミュレーションを行い, 成膜速度および膜硬度に影響を及ぼす実験外部パラメータとして報告されているガス圧力に着目し, プラズマ特性に及ぼす影響について解析を行ったので, その結果を報告する。 |
| ■要約(英語) |
|
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
205Kバイト |
|
|
|
