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こちらはBookPark「電気学会 電子図書館(IEEJ Electronic Library)」による文献紹介ページです。 |
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■論文No. |
1-16 |
■ページ数 |
2ページ |
■発行日
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2021/08/18 |
■タイトル |
FM-AFM/KFM/SCFMシステムによるSiC製パワー半導体デバイス動作の観測 |
■タイトル(英語) |
Operating Observation of SiC Power Device by FM-AFM/KFM/SCFM system |
■著者名 |
土井 敦史(千葉工業大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学),山本 秀和(千葉工業大学) |
■著者名(英語) |
Atsushi Doi (Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh (Chiba Institute of Technology),Hidekazu Yamamoto (Chiba Institute of Technology) |
■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
■書籍種類 |
部門大会 |
■グループ名 |
【D】2021年電気学会産業応用部門大会講演論文集 |
■本誌掲載ページ |
ページ |
■キーワード |
走査型プローブ顕微鏡|パワー半導体デバイス|ワイドバンドギャップ半導体|モスフェット|Scanning probe microscopy|Power semiconductor device|Wide band gap semiconductor|MOSFET |
■要約(日本語) |
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■要約(英語) |
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■版 型 |
A4 |
■PDFファイルサイズ |
1,657Kバイト |
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