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| ■論文No. |
26P2-SS1-2 |
| ■ページ数 |
3ページ |
■発行日
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2020/10/19 |
| ■タイトル |
Frequency trimming method for a disk resonator using flexural rigidity |
| ■タイトル(英語) |
Frequency trimming method for a disk resonator using flexural rigidity |
| ■著者名 |
アブデリ ハムザ(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学) |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
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| ■要約(日本語) |
本論文では,多重リングMEMS振動子の周波数トリミング法について報告する.有限要素法を用いた数値実験によって,提案する手法によって,10.3%の周波数トリミングが可能であることがわかった.この時,Q値の変化は0.6%に抑えることができた.本手法と,既報のQ値トリミング手法を組み合わせることで,周波数とQ値のミスマッチをそれぞれ独立に制御することが可能となる. |
| ■要約(英語) |
We proposed a new method for frequency trimming that has a low effect on the quality factor of a multi-ring disk resonator. Using numerical analysis, it was demonstrated that by applying this method, the frequency could be trimmed as much as 10.3%, while the Q-factor change as small as 0.6%. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,444Kバイト |
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