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| ■論文No. |
10A3-SS2-6 |
| ■ページ数 |
5ページ |
■発行日
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2021/11/02 |
| ■タイトル |
高感度化座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの振動モード解析 |
| ■タイトル(英語) |
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| ■著者名 |
藤井 翔太（京都工芸繊維大学）, 出井 航（京都工芸繊維大学）, 山下 馨（京都工芸繊維大学）, 西岡 知記（京都工芸繊維大学） |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
超音波センサ|ダイアフラム|振動モード|座屈|固有振動数 |
| ■要約(日本語) |
高感度化のための座屈撓みを持つ圧電MEMSダイアフラム型超音波センサの共振振動の解析を試みた。一次元梁両端固定梁を解析モデルとして使用した。大きな静的座屈に起因する面内方向の伸縮を考慮することにより,実測に近い共振挙動を得ることができた。また,解析結果からモードの合成が生じ得ることも示された。以上のことからエネルギー法は座屈ダイアフラムの振動挙動を解析する有用なツールとなり得ることが示された。 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
3,580Kバイト |
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