 |
| ・会員価格 ¥220 |
| ・一般価格 ¥440 |
|
|
| こちらはBookPark「電気学会 電子図書館（IEEJ Electronic Library）」による文献紹介ページです。 |
|
 |
 |
電気学会会員の方はこちらから一旦ログインのうえ、マイページからお入りください。
会員価格で購入することができます。
|
|
| 非会員の方はログインの必要はありません。このまま お進みください。 |
|
|
| ■論文No. |
10A3-SS3-6 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
|
2021/11/02 |
| ■タイトル |
ハーフインチ径水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの試作と評価 |
| ■タイトル(英語) |
|
| ■著者名 |
永野 朝日（九州工業大学）, 北村 奏人（九州工業大学）, 野田 周一（産業技術総合研究所）, 井口 航平（九州工業大学）, 村上 直（九州工業大学）, クンプアン ソマワン（産業技術総合研究所）, 原 史朗（産業技術総合研究所） |
| ■著者名(英語) |
|
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
弾性表面波デバイス|圧電薄膜|窒化アルミニウム|水晶|周波数特性 |
| ■要約(日本語) |
弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種で,圧電性の基材上にくし歯形状の電極(IDT)を作製した素子構造を有する.本研究では,ハーフインチ径のSTカット水晶ウエハ上に反応性スパッタリングで成膜した窒化アルミニウム(AlN)薄膜の表面に,アルミニウム(Al)を電極材とするSAWデバイスを作製した.AlN薄膜の結晶配向性に加え,化学センサ等への応用に向けて,試作したSAWデバイスの特性評価も行った. |
| ■要約(英語) |
|
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
932Kバイト |
|
|
|
