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| ■論文No. |
10P3-SSL-84 |
| ■ページ数 |
2ページ |
■発行日
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2021/11/02 |
| ■タイトル |
屋内空気質モニタリングに向けた低消費電力MEMS CO2センサの高感度化 |
| ■タイトル(英語) |
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| ■著者名 |
王 萍（東芝）, 石橋 史隆（東芝）, 久留井 慶彦（東芝）, 山﨑 宏明（東芝） |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
MEMS|CO2センサ|熱伝導型|低消費電力|屋内空気質 |
| ■要約(日本語) |
低消費電力での屋内空気質モニタリングに向け、熱伝導型MEMS CO2センサの高感度化を検討した。メンブレン内にマイクロヒーターと温度センサを積層することで小型化を実現し、高感度化と低消費電力の両立を可能にした。その結果、従来の熱伝導型センサで検出が困難であった250 ppmのCO2検出に成功した。更に1msの高速の熱応答特性により0.1 mW以下の低消費電力でのヒーター駆動が可能である事を示した。 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
396Kバイト |
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