HOMEご利用手順商品サンプルご利用規約お支払いご注文進行確認Q&A、お問い合せカートを見る
電気学会 電子図書館
電気学会HPへ
 HOME > 同研究会の部門大会 > 文献詳細

・会員価格 ¥220
・一般価格 ¥440
カートに入れる
こちらはBookPark「電気学会 電子図書館(IEEJ Electronic Library)」による文献紹介ページです。
会員ログイン
電気学会会員の方はこちらから一旦ログインのうえ、マイページからお入りください。
会員価格で購入することができます。
非会員の方はログインの必要はありません。このまま お進みください。
■論文No. 14P2-A-3
■ページ数 5ページ
■発行日
2022/11/07
■タイトル

SOIウェハのハイブリッド接合を用いた画素並列3層積層CMOSイメージセンサ

■タイトル(英語)

Pixel-Parallel 3-Layer Stacked CMOS Image Sensors Using Hybrid Bonding of SOI Wafers

■著者名 後藤 正英(NHK放送技術研究所), 本田 悠葵(NHK放送技術研究所), 難波 正和(NHK放送技術研究所), 井口 義則(NHK放送技術研究所), 更屋 拓哉(東京大学), 小林 正治(東京大学), 日暮 栄治(東北大学), 年吉 洋(東京大学), 平本 俊郎(東京大学)
■著者名(英語) Masahide Goto(NHK Science & Technology Research Laboratories), Yuki Honda(NHK Science & Technology Research Laboratories), Masakazu Nanba(NHK Science & Technology Research Laboratories), Yoshinori Iguchi(NHK Science & Technology Research Laboratories), Takuya Saraya(The University of Tokyo), Masaharu Kobayashi(The University of Tokyo), Eiji Higurashi(Tohoku University), Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo), Toshiro Hiramoto(The University of Tokyo)
■価格 会員 ¥220 一般 ¥440
■書籍種類 部門大会
■グループ名 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
■本誌掲載ページ ページ
■キーワード CMOSイメージセンサ|3次元集積化技術|接合|silicon-on-insulator (SOI)|A/D変換回路|CMOS image sensor|3D integration|bonding|silicon-on-insulator (SOI)|A/D converter
■要約(日本語) 超高精細と高フレームレートを両立する次世代のイメージセンサを目指して、画素並列信号処理を行う3次元構造イメージセンサの研究を進めている。今回、SiO2にAu電極を埋め込んだ3枚のSOIウェハをハイブリッド接合し、画素内でA/D変換するイメージセンサを試作した結果、16ビットのA/D変換動作や、動画像出力を確認することができ、3層積層で画素並列信号処理を行うイメージセンサの動作実証に初めて成功した。
■要約(英語) We report 3-layer stacked pixel-parallel CMOS image sensors developed for the first time. The hybrid bonding of silicon-on-insulator wafers through embedded Au electrodes in SiO2 insulators realizes both face-to-face and face-to-back bonding. Prototype 3-layered sensors confirm the linear response of 16-bit digital signal output, and capture video images, demonstrating the feasibility of multi-layered devices.
■版 型 A4
■PDFファイルサイズ 1,798Kバイト
運営会社についてBookPark個人情報保護方針電気学会ホームページ
本サービスは電気学会がコンテンツワークス株式会社に委託して運営しているサービスです。
©Contents Works Inc.