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■論文No. 14P2-D-6
■ページ数 4ページ
■発行日
2022/11/07
■タイトル

初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測

■タイトル(英語)

Simple prediction of nonlinear frequency response for diaphram structures with initial deformation

■著者名 神田 健介(兵庫県立大学), 梶山 佳敬(三菱電機), 平田 善明(三菱電機), 島倉 泰久(三菱電機), 藤田 孝之(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学)
■著者名(英語) Kensuke Kanda(University of Hyogo), Yoshitaka Kajiyama(Mitsubishi Electric Co.), Yoshiaki Hirata(Mitsubishi Electric Co.), Yasuhisa Shimakura(Mitsubishi Electric Co.), Takayuki Fujita(University of Hyogo), Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)
■価格 会員 ¥220 一般 ¥440
■書籍種類 部門大会
■グループ名 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
■本誌掲載ページ ページ
■キーワード 非線形|周波数応答|数値計算|ダイアフラム|圧電薄膜|Nonlinear|Frequency response|numerical analysis|diaphram|piezoelectric thin film
■要約(日本語) 初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形な周波数応答を簡易的に予測する手法を提案した。加速度印加時の静的な応答を復元力項に導入した運動方程式に対して数値計算を行う。圧電薄膜による超音波素子を例として試作・評価した結果と,数値計算結果を比較すると傾向がよく一致した。
■要約(英語) A simple method for predicting the nonlinear frequency response of diaphragm structures with initial strain is proposed in this study. The nonlinear frequency response is predicted from the numerical calculation of motion of equation which includes the result of static analysis. As an example, piezoelectric micromachined ultrasonic transducer is fabricated and evaluated. The trends of the predicted and experimental results are in good agreement.
■版 型 A4
■PDFファイルサイズ 2,431Kバイト
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