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| ■論文No. |
14P3-D-4 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2022/11/07 |
| ■タイトル |
(100)単結晶シリコンを用いた多重リング型モードマッチ振動子 |
| ■タイトル(英語) |
Mode-Matched Multi-Ring Resonator Using (100) Single Crystal Silicon |
| ■著者名 |
Wang Shihe(東北大学), Chen Jianlin(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学) |
| ■著者名(英語) |
Shihe Wang(Tohoku University), Jianlin Chen(Tohoku University), Takashiro Tsukamoto(Tohoku University), Shuji Tanaka(Tohoku University) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
ディスク振動子|モードマッチ振動子|多重リング型|(100)単結晶シリコン|楕円形スポーク|Disk resonator|Mode matched resonator|Multi-ring|(100) single crystal silicon|Elliptic Spokes |
| ■要約(日本語) |
本研究では(100)単結晶シリコンを用いた多重リング型モードマッチ振動子について報告する。楕円形スポークで多重リングを接続することで,(100)シリコンの異方性に起因する周波数ミスマッチを補償した。構造最適化により、2つのn=2ワイングラスモードの周波数をマッチングさせることが可能であり,数値計算および実験により実証した.作製した振動子の共振周波数は33.984 kHzおよび33.876 kHzでり,周波数ミスマッチは0.32%であった |
| ■要約(英語) |
This paper reports a novel mode-matched multi-ring disk resonator fabricated on (100) single crystal silicon. The anisotropy of stiffness was compensated by application of elliptic interconnection spokes. Two n = 2 wineglass modes could be degenerated by optimizing the structural parameters. The resonant frequencies were found at 33.984 and 33.876 kHz for n = 2 wineglass modes, which corresponds to the frequency mismatch as small as only 0.32%. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
637Kバイト |
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