| ■論文No. |
14P3-D-5 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
|
2022/11/07 |
| ■タイトル |
発電しながら位相情報を観測できるMEMS振動発電素子 |
| ■タイトル(英語) |
MEMS Vibrational Energy Harvester Capable of Phase Monitoring |
| ■著者名 |
赤井 裕登(東京大学), 本間 浩章(東京大学), 年吉 洋(東京大学) |
| ■著者名(英語) |
Yuto Akai(The University of Tokyo), Hiroaki Honma(The University of Tokyo), Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo) |
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
MEMS|振動発電素子|エレクトレット|位相差|共振|MEMS|Vibrational energy harvester|Electret, phase difference|Phase difference|Resonance |
| ■要約(日本語) |
発電しながら外部振動との位相差を観測できるエレクトレットMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 型の振動発電素子を実現した。エレクトレット膜で被覆した櫛歯電極群の一部を分離し、素子内に発電用と位相検出用の電極を設置した。共振周波数 110 Hz の振動発電素子では、励振周波数を上昇させたときの速度位相差は-60°から-180°まで変化しており、位相情報から共振点探索が可能である。 |
| ■要約(英語) |
We report a MEMS electret vibrational energy harvester capable of monitoring phase state variables. We separate a part of the comb-electrodes to monitor the phase of oscillation Monotonic shift of phase is observed when the frequency is swept up from the lower side of the resonance to the higher side. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
444Kバイト |
