 |
| ・会員価格 ¥220 |
| ・一般価格 ¥440 |
|
|
| こちらはBookPark「電気学会 電子図書館（IEEJ Electronic Library）」による文献紹介ページです。 |
|
 |
 |
電気学会会員の方はこちらから一旦ログインのうえ、マイページからお入りください。
会員価格で購入することができます。
|
|
| 非会員の方はログインの必要はありません。このまま お進みください。 |
|
|
| ■論文No. |
6P2-D-2 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
|
2023/10/31 |
| ■タイトル |
コルゲート構造を用いたLIG圧力センサ |
| ■タイトル(英語) |
LIG pressure sensor using corrugated structure |
| ■著者名 |
小田 怜(慶應義塾大学), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学) |
| ■著者名(英語) |
|
| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
レーザ誘起グラフェン|圧力センサ|コルゲート構造|レーザ加工|ひずみゲージ|laser-induced graphene|pressure sensor|corrugated structure|laser processing|strain gauge |
| ■要約(日本語) |
レーザー誘起グラフェン(LIG)ひずみゲージを用いたコルゲート構造を持つ圧力センサについて報告する。コルゲート構造は、UVレーザを用いてポリイミド(PI)フィルム上に形成される。LIGはひずみゲージとして使用でき、CO2レーザで形成する。2種類のレーザを用いることで、簡易的なプロセスで高感度な圧力センサを実現することができる。本研究では、コルゲートセンサとメンブレンセンサの比較評価を行った。 |
| ■要約(英語) |
This paper reports on a pressure sensor with a corrugated structure based on laser-induced graphene (LIG) strain gauges. Two types of lasers can be used to easily realize a pressure sensor with high sensitivity. In this experiment, we compare the corrugated sensor with a membrane sensor. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,309Kバイト |
|
|
|
