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| ■論文No. |
6P3-C-3 |
| ■ページ数 |
4ページ |
■発行日
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2023/10/31 |
| ■タイトル |
伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーナノシートへのプラズモニックメタサーフェス転写のプロセス検討 |
| ■タイトル(英語) |
Development of transfer process of plasmonic metasurface to elastomer nanosheet toward stretchable tunable color sheet |
| ■著者名 |
大石 匠真(豊橋技術科学大学), 渡邉 守(豊橋技術科学大学), 齋藤 優人(東京工業大学), 藤枝 俊宣(東京工業大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学) |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
表面プラズモン|SBSナノシート|エラストマーナノシート|2回転写プロセス|メタサーフェス|Suface plasmon|SBS nanoheet|Elastomer nanosheet|double transfer process|Metasurface |
| ■要約(日本語) |
本研究では、伸縮性可変プラズモニックカラーシートの作製に向け、膜厚200 nmのエラストマーナノシート上に1次元および2次元金属ナノ周期構造を作製するプロセス技術の開発を行った。エラストマーナノシートはナノ構造加工時の収束イオンビーム(FIB)によって弾性が失われることから、ダメージ回避のため、FIB加工時にレジストを犠牲層としたナノ構造転写プロセスを行い、転写された1Dおよび2Dナノ構造由来の構造色取得に成功した。 |
| ■要約(英語) |
We developed metal nano periodic structures on a 200-nm-thick elastomer nanosheet for stretchable tunable plasmonic color sheets. To avoid process damage due to focused ion beam process, 1D and 2D nanostructures transfer process using sacrificial etching was performed.
As a result, structural color derived from transferred nanostructures was successfully demonstrated. |
| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
828Kバイト |
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