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| ■論文No. |
26A2-B-6 |
| ■ページ数 |
6ページ |
■発行日
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2024/11/18 |
| ■タイトル |
分光デバイスの実現に向けたフィルタフリー分光センサの作製と波長分光の検証 |
| ■タイトル(英語) |
Development and Verification of Filter-Free Spectroscopic Sensor for Next-Generation Spectroscopic Devices |
| ■著者名 |
加藤 結衣(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 仲野 翔(豊橋技術科学大学), 井出 智也(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学) |
| ■著者名(英語) |
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| ■価格 |
会員 ¥220 一般 ¥440 |
| ■書籍種類 |
部門大会 |
| ■グループ名 |
【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
分光分析|フィルタフリー|分光センサ|波長検出センサ|エピタキシャル基板 |
| ■要約(日本語) |
本稿では、単画素で分光分析が可能なデバイスの実現に向けたフィルタフリー分光センサの作製と波長分光の検証について報告する。シリコン内部のポテンシャルピークを大幅に変位するため、低不純物濃度のエピタキシャル基板上にデバイスの作製を行った。提案するセンサの検証として3波長分光計測を行い、同時に照射した各波長の光強度算出に成功し、小型分光センサとして、バイオ分野への応用が期待される。 |
| ■要約(英語) |
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| ■版 型 |
A4 |
| ■PDFファイルサイズ |
1,124Kバイト |
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