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■論文No. 1485
■ページ数 92ページ
■発行日
2020/06/17
■タイトル

精密サーボシステムにおける共通基盤技術

■タイトル(英語)

Common Fundamental Technologies for High Precision Servo Systems

■著者名 精密サーボシステムための共通基盤技術調査専門委員会
■著者名(英語) Investigating R&D Committee on Basis of Collaborative Technologies for Precision Servo Systems
■価格 会員 ¥3,049 一般 ¥4,356
■書籍種類 技術報告
■グループ名 【D】産業応用部門
■本誌掲載ページ ページ
■キーワード サーボ制御,高速・高精度位置決め,産業応用/Servo Control, Fast and High Precision Positioning, Industrial Applications
■要約(日本語) ナノメートルの精度で超高速かつ超高精度に位置決めを行う「ナノスケールサーボ」は,ハードディスク装置を始めとした情報機器や半導体製造装置や工作機械などの産業機器において,製品の最終性能を決定するコア技術である。
本調査専門委員会では,精密サーボ技術を核として,メカトロニクスシステム製品群の中で適用される高速・高精度位置決め,および力制御技術を含めた最新の技術動向と課題を整理しつつ,一段上の精密サーボシステムを実現するための共通基盤技術を調査することを目的として委員会活動を実施してきた。さらに,サーボシステム
■要約(英語) “Nanoscale servo control”, which achieves high-speed and ultra-high-precision positioning with nanometer accuracy, is a core technology that determines the final performance of the mechatronic products, such as hard disk drives, optical disk drives, machi
■版 型 A4

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