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| ■論文No. |
1546 |
| ■ページ数 |
72ページ |
■発行日
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2023/02/27 |
| ■タイトル |
プラズマ材料表面処理技術の最新動向 |
| ■タイトル(英語) |
New Developments of Plasma Surface Engineering |
| ■著者名 |
プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会 |
| ■著者名(英語) |
Invstigating R&D Committee for Plasma Surface Technology |
| ■価格 |
会員 ¥2,587 一般 ¥3,696 |
| ■書籍種類 |
技術報告 |
| ■グループ名 |
【A】基礎・材料・共通部門 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
プラズマ，表面処理，成膜，拡散処理，表面改質／plasma, surface technology, film formation, diffusion process, surface modification |
| ■要約(日本語) |
プラズマ材料表面処理技術は主にPVD，CVD，溶射，酸化，窒化，官能基付与などに分類され，その用途は各種材料の摩擦特性・トライボロジー特性，電気特性・半導体特性，親水性・接着性・化学反応性，生体特性を制御することにあり，一部の例を挙げただけでそのバリエーションが極めて多岐にわたることが分かる。これらプラズマ表面技術は各分野で独自に技術開発が進んでおり，新技術が次々と創成されている状況である。そのため，各分野の技術展開の動向を体系的に理解し各技術に共通する問題や新技術の情報共有を効率的に行うことが，さらなる |
| ■要約(英語) |
Various sorts of physical/chemical interactions between plasmas and solids have been actively applied to upgrade/functionalize material properties. For example, the plasma surface technology is used for controllilng tribological, electronic, chemical, and |
| ■版 型 |
A4 |
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