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| ■論文No. |
1552 |
| ■ページ数 |
86ページ |
■発行日
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2023/10/12 |
| ■タイトル |
精密サーボシステムにおける共通基盤技術 |
| ■タイトル(英語) |
Common Fundamental Technologies for High Precision Servo Systems |
| ■著者名 |
精密サーボシステムによる高付加価値化に関する調査専門委員会 |
| ■著者名(英語) |
Investigating R&D Committee on Basis of Collaborative Technologies for Precision Servo Systems |
| ■価格 |
会員 ¥3,418 一般 ¥4,884 |
| ■書籍種類 |
技術報告 |
| ■グループ名 |
【D】産業応用部門 |
| ■本誌掲載ページ |
ページ |
| ■キーワード |
サーボ制御，高速・高精度位置決め，産業応用／Servo Control, Fast and High Precision Positioning, Industrial Applications |
| ■要約(日本語) |
ナノメートルの精度で超高速かつ超高精度に位置決めを行う「ナノスケールサーボ」は，ハードディスク装置を始めとした情報機器や半導体製造装置や工作機械などの産業機器において，製品の最終性能を決定するコア技術である。
本調査専門委員会では，精密サーボ技術を核として，メカトロニクスシステム製品の中で適用される最新の技術動向と課題を整理しつつ，高付加価値化を実現するための共通基盤技術を調査することを目的として委員会活動を実施してきた。具体的には，HDD，産業用ロボット，クアッドコプター，そして半導体製造装置など，近年の産業界で重要な役割を担っている機器への応用事例について調査検討を行った．特に，本員会の起源ともいえるHDDについては，最新のベンチマーク問題を作成し，ナノスケールサーボを実現する制御技術について調査検討を行った．本技術報告は，そこでの議論と成果について，以下の構成で纏めている。
1. 各種メカトロニクス機器における精密サーボ技術
2. 精密サーボシステムのための要素技術と制御応用
3. HDD ベンチマーク問題に対する制御系 |
| ■要約(英語) |
“Nanoscale servo control”, which achieves high-speed and ultra-high-precision positioning with nanometer accuracy, is a core technology that determines the final performance of the mechatronic products, such as hard disk drives, optical disk drives, machine tools, semiconductor manufacturing equipment, industrial robots, and measurement devices. This investigating R&D committee investigated the latest technology trends and issues in mechatronic products, and common fundamental technologies for achieving the precision servo systems.
The committee discussed and investigated precision control system and related technologies for important mechanical systems in industry: HDDs, industrial robots, quadcopter, semiconductor manufacturing systems and so on. Especially, a latest benchmark problem of HDDs which is core target in this committee has been developed to discuss the nano-scale servo technologies. This technical report summarizes the deep discussions and obtained results in the committee:
1. High precision servo technologies in various mechatronic products
2. Components and control applications for high precision servo systems
3. Control systems in HDD benchmark problem |
| ■版 型 |
A4 |
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