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| ・会員価格 ¥550 |
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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
6ページ |
■発行日
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2021/05/01 |
| ■タイトル |
MOD法によるC面サファイア基板上VOx薄膜成長と評価 |
| ■タイトル(英語) |
Characterization of the VOx Thin Films Grown on C-plane Sapphire Substrates by MOD |
| ■著者名 |
和田 英男（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），小池 一歩（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），矢野 満明（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター） |
| ■著者名(英語) |
Hideo Wada (Osaka Institute of Technology), Kazuto Koike (Osaka Institute of Technology), Mitsuaki Yano (Osaka Institute of Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【A】基礎・材料・共通部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.141 No.5 （2021） 特集：高周波磁性材料の実用化のための技術動向と展望
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| ■本誌掲載ページ |
345-350ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/141/5/141_345/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
有機金属分解 (MOD) 法，酸化バナジウム (VOx)，スマートウィンドウ，配向度，調光率 metal-organic decomposition (MOD)，vanadium oxide (VOx)，smart window，orientation factor，dimming rate |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
Vanadium oxide (VOx) thin films were grown on c-plane sapphire substrates by metal-organic decomposition (MOD). Their crystallinity and optical characteristics were evaluated by XRD, XPS, AFM, LSM and a spectrophotometer. The crystallinity of the VOx thin films were improved in adjusting the O reduction by controlling the firing time in N2 atmosphere and a spin coating rotation speed. As a result, in the optimized VOx samples under a firing temperature of 580℃ after calcining at 300℃ with 6000 rpm coating speed, the growth of polycrystalline fine nanoparticles of a single composition was confirmed which has good thermochromic characteristics. |
| ■版 型 |
A4 |
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