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| ・会員価格 ¥550 |
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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
9ページ |
■発行日
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2023/02/01 |
| ■タイトル |
MOD法によるガラス基板へのVO2薄膜成長と特性評価 |
| ■タイトル(英語) |
Characterization of the VO2 Thin Films Grown on Glass Substrates by MOD |
| ■著者名 |
和田 英男（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），扶川 泰斗（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），豊田 和晃（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），小山 政俊（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），廣芝 伸哉（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター），小池 一歩（大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター） |
| ■著者名(英語) |
Hideo Wada (Osaka Institute of Technology), Taito Fukawa (Osaka Institute of Technology), Kazuaki Toyota (Osaka Institute of Technology), Masatoshi Koyama (Osaka Institute of Technology), Nobuya Hiroshiba (Osaka Institute of Technology), Kazuto Koike (Osaka Institute of Technology) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【A】基礎・材料・共通部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.143 No.2 （2023）
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| ■本誌掲載ページ |
54-62ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/143/2/143_54/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
有機金属分解 (MOD) 法，二酸化バナジウム (VO2)，スマートウィンドウ，相転移温度 metal-organic decomposition (MOD)，vanadium dioxide (VO2)，smart window，phase transition temperature |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
This paper describes the deposition of Nb doped vanadium dioxide (VO2) films on a glass substrate by metal organic decomposition (MOD) and their thermochromic properties. The difference in thermochromic properties of VO2 thin films on a glass substrate was investigated with and without a buffer layer of Hf0.5Zr0.5O2 (HZO). The phase transition temperature of VO2 thin film successfully reduced from 83 to 43℃ on a glass substrate with a buffer layer of HZO. Without a buffer layer of HZO, the thermochromic properties of VO2 thin films deteriorated comparing with a buffer layer of HZO. HZO buffer layer effectively suppresses the miniaturization of VO2 crystallite size of thin film due to Nb doping. Moreover, it would block out the diffusion of Al, Na and Ca impurity ions from a glass substrate and the partial oxidation of VO2 thin films judging from XPS O1s spectra and XPS depth profile analysis. We conclude that the insertion of the HZO buffer layer is a useful technique for controlling the transition temperature of VO2 for the smart window applications by MOD. |
| ■版 型 |
A4 |
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