| *商品について |
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| ・会員価格 ¥550 |
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| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
7ページ |
■発行日
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2023/03/01 |
| ■タイトル |
MOD法により作製したV1-xCrxO2薄膜の特性評価 |
| ■タイトル(英語) |
Evaluation of V1-xCrxO2 Thin Films Fabricated by MOD |
| ■著者名 |
落合 佑多（防衛大学校電気電子工学科），河原 正美（（株）高純度化学研究所），佐村 剛（（株）高純度化学研究所），立木 隆（防衛大学校電気電子工学科），内田 貴司（防衛大学校電気電子工学科） |
| ■著者名(英語) |
Yuta Ochiai (National Defense Academy), Masami Kawahara (Kojundo Chemical Laboratory Co., Ltd.), Tsuyoshi Samura (Kojundo Chemical Laboratory Co., Ltd.), Takashi Tachiki (National Defense Academy), Takashi Uchida (National Defense Academy) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【A】基礎・材料・共通部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.143 No.3 （2023）
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| ■本誌掲載ページ |
91-97ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/143/3/143_91/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
有機金属分解 (MOD) 法，二酸化バナジウム，ボロメータ薄膜
metal-organic decomposition (MOD)，vanadium dioxide，bolometer thin film |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
Cr-doped vanadium dioxide, V1-xCrxO2 (x = 0-0.20), thin films were fabricated by metal-organic decomposition. From X-ray diffraction patterns of the films at room temperature, VO2(M2)(201) and VO2(M2)(201) diffraction peaks were observed for x = 0.03-0.20, while a VO2(M1)(011) peak was observed for x = 0-0.01, where M1 and M2 represent different monoclinic structures of VO2. Moreover, all the fabricated films showed a p-type conductivity, and the hole concentration in the films increased with increasing x. From R-T characteristics of the films at the temperature range from 20 to 90℃, abrupt resistance changes caused by the metal-insulator transition in VO2 with a hysteresis loop were gradually suppressed with increasing x; especially x≥0.15, they were completely suppressed, since the transition temperature of the film shifted to a temperature above 140℃. Relatively flat temperature dependence of the temperature coefficients of resistance (TCR) as high as -3.9%/K in the range of 20-90℃ was obtained for the V0.85Cr0.15O2 thin film. The TCR value of the film is almost same as that of a V0.75Ti0.25O2 thin film, whereas a resistivity of the former at room temperature is one order lower than that of the latter. |
| ■版 型 |
A4 |
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