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■論文No.
■ページ数 4ページ
■発行日
2021/07/01
■タイトル

水溶性Sr3Al2O6犠牲層を用いたアナターゼ型Nb: TiO2エピタキシャル薄膜のフレキシブル化プロセス

■タイトル(英語)

Preparation of Flexible Thin Films from Epitaxially Grown Anatase Nb: TiO2 Using Water-Soluble Sr3Al2O6 Sacrificial Layer

■著者名 平岡 壮大(近畿大学大学院生物理工学研究科生体システム工学専攻),藤原 宏平(東北大学金属材料研究所),西川 博昭(近畿大学生物理工学部医用工学科)
■著者名(英語) Akihiro Hiraoka (Graduate School of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University), Kohei Fujiwara (Institute for Materials Research, Tohoku University), Hiroaki Nishikawa (Faculty of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University
■価格 会員 ¥550 一般 ¥770
■書籍種類 論文誌(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門
■本誌 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.141 No.7 (2021) 特集:電子材料関連技術の最近の進展
■本誌掲載ページ 767-770ページ
■原稿種別 論文/日本語
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/7/141_767/_article/-char/ja/
■キーワード フレキシブル,エピタキシャル薄膜,アナターゼ型Nb: TiO2,パルスレーザ堆積法  flexible,epitaxial thin film,anatase Nb: TiO2,pulsed laser deposition
■要約(日本語)
■要約(英語) With the aim of developing new electronic functionalities for flexible devices, a transfer process for the preparation of flexible conductive thin films was examined using epitaxially grown anatase Nb: TiO2. Using pulsed laser deposition, water-soluble Sr3Al2O6 (SAO) was deposited on a single-crystalline LaAlO3 (100) substrate (LAO) as a sacrificial layer, followed by the epitaxial growth of anatase Nb: TiO2 on the sacrificial layer. The Nb: TiO2/SAO/LAO multilayer sample bonded onto a flexible polymer sheet via an adhesive tape was soaked into distilled water to transfer the epitaxially grown Nb: TiO2 thin film from SAO/LAO to the polymer sheet. The transferred anatase Nb: TiO2 thin film retained the clear X-ray diffraction peaks. Moreover, the areal transfer ratio was almost 100%, without the generation of significant impurity phases during the transfer process. On the basis of these results, the examined process was found promising for the preparation of flexible anatase Nb: TiO2 thin films. The voltage drop - current characteristics were measured successfully at room temperature for the transferred anatase Nb: TiO2 thin film using the standard four-probe method with gold electrodes.
■版 型 A4

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