| ■論文No. |
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| ■ページ数 |
5ページ |
■発行日
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2021/07/01 |
| ■タイトル |
ArFエキシマレーザにより作製されたシリコーンゴム上の周期的円柱状微細隆起構造 |
| ■タイトル(英語) |
Periodic Cylindrical Structure of Micro-Swelling Silicone Rubber Fabricated by ArF Excimer Laser |
| ■著者名 |
大越 昌幸（防衛大学校 電気情報学群電気電子工学科） |
| ■著者名(英語) |
Masayuki Okoshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy) |
| ■価格 |
会員 ¥550 一般 ¥770 |
| ■書籍種類 |
論文誌(論文単位) |
| ■グループ名 |
【C】電子・情報・システム部門 |
| ■本誌 |
電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.141 No.7 （2021） 特集：電子材料関連技術の最近の進展
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| ■本誌掲載ページ |
771-775ページ |
| ■原稿種別 |
論文／日本語 |
| ■電子版へのリンク |
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/7/141_771/_article/-char/ja/
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| ■キーワード |
ArFエキシマレーザ，シリコーンゴム，円柱状構造，Al薄膜，超撥水性 ArF excimer laser，silicone rubber，cylindrical structure，Al thin film，superhydrophobicity |
| ■要約(日本語) |
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| ■要約(英語) |
Cylindrical structure of micro-swelling silicone rubber of approximately 1 μm diameter and 1.5 to 2 μm height was fabricated by the 193-nm ArF excimer laser-induced photodissociation of Si-O bonds of silicone rubber. To be periodically, single layer of silica glass microspheres was aligned on aluminum-coated silicone rubber during laser irradiation. The silicone rubber underneath each microsphere photochemically swelled, after laser-ablating aluminum to limit a diameter of the swelling. The aluminum also adjusted a focal point to the surface of silicone rubber to form a hole approximately 0.5 μm diameter centered at each the swelled silicone rubber. A purging O2 molecules in the laser beam path by N2 gas and lowering the laser pulse repetition rate were effective for fabricating the regular cylindrical structure. The regular cylindrical structure of micro-swelling silicone rubber showed superhydrophobicity. |
| ■版 型 |
A4 |
