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■論文No.
■ページ数 6ページ
■発行日
2022/04/01
■タイトル

数サイクルレーザーで励起された短距離伝搬型表面プラズモンによるナノ周期構造形成

■タイトル(英語)

Periodic Nanostructure Formation Induced by Short-range Surface Plasmon Polaritons Excited with Few-cycle Laser Pulses

■著者名 飯田 悠斗(東京農工大学 大学院工学府 物理システム工学専攻),宮地 悟代(東京農工大学 大学院工学研究院 先端物理工学部門),二階堂 誓哉(東京農工大学 大学院工学府 物理システム工学専攻)
■著者名(英語) Yuto Iida (Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology), Godai Miyaji (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology), Seiya Nikaido (Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology)
■価格 会員 ¥550 一般 ¥770
■書籍種類 論文誌(論文単位)
■グループ名 【C】電子・情報・システム部門
■本誌 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.142 No.4 (2022) 特集:持続可能な社会発展に貢献するスマートレーザプロセシング
■本誌掲載ページ 454-459ページ
■原稿種別 論文/日本語
■電子版へのリンク https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/142/4/142_454/_article/-char/ja/
■キーワード フェムト秒レーザー加工,ナノ構造,表面プラズモン・ポラリトン,ダイヤモンド状炭素  femtosecond laser processing,nanostructure,surface plasmon polariton,diamond-like carbon
■要約(日本語)
■要約(英語) We have demonstrated that 7-fs, ~810-nm laser pulses can produce a much finer periodic nanostructure on a diamond-like carbon (DLC) film than that formed with 100-fs, ~800-nm laser pulses through ablation in air. The minimum period size is ~60 nm, corresponding to ~1/13 of the center wavelength. We report the physical mechanism responsible for finer nanostructuring. It has been found that the thickness of bonding structural changes with 7-fs pulses is much thinner than that with 100-fs pulses. The results show that the 7-fs pulses with high peak power density at low fluence create a few-nm-thick layer with high-density electrons and excite short-range surface plasmon polaritons, which have a large wave number around the layer and induce the plasmonic near-field nanoablation. The period size estimated by using a model target reproduces well the observed size of nanostructures.
■版 型 A4
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